ASML正式向1nm进军,研发高端芯片产品。现在主力出货的EUV光刻机分别是NXE:3400B和3400C,它们的数值孔径(NA)均为0.33,3400C目前的可用性已经达到90%左右。光刻机的发货和配置过程都是很漫长的过程,需要两年的时间,0.55NA的大规模应用要等到2025~2026年了,主要的服务应该是台积电2nm甚至1nm等工艺。EUV光刻机预计2021年年底,3600D将开始交付,30mJ/cm2下的晶圆通量是160片,比3400C的效率提高了18%,机器之间的匹配也增加了,预计未来会是台积电、三星3nm制程的主要依托。在3600D之后,EUV规划的光刻机分别是NEXT、EXT:5000和EXE:5200,其中EXE:5000开始,数值孔径提高到0.55,但要等待2022年晚些时候发货了。
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